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渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)。渦輪分子泵可以串聯(lián)干式機械泵組成無油超高真空系統(tǒng),不烘烤可以實現(xiàn)10-6Pa的真空度,經(jīng)烘烤可以達到10-8Pa的真空度。如果串聯(lián)擴散泵作為前級泵,降低前級管道中的氫分壓,配合鈦升華阱可以獲得高于10-9Pa以上的真空度。由于渦輪分子泵內(nèi)表面積大,因此烘烤除氣是非常必要的,但烘烤溫度一般只允許到100℃左右。進口真空泵維修
停止或啟動時發(fā)出巨大噪音
原因:電機供電電壓不足;電機缺相運行;泵長期未使用,造成腐蝕;泵吸收雜質(zhì);葉輪拉動分配板。
故障排除:檢查電源電壓是否過低;檢查電機接線是否牢固;如果泵長時間不使用,可以添加除銹劑或打開泵蓋進行除銹;打開泵蓋清除雜質(zhì);調(diào)整葉輪和分配板之間的距離。進口真空泵維修
在分子流動范圍內(nèi)(即在壓力低于 10-3毫巴 (0.75 x 10-3Torr)) 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距(通常為零點幾毫米)。進口真空泵維修,相應(yīng)地,分子主要與光學(xué)致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞,從而產(chǎn)生高*的泵送作用。在層流(恒定)流量范圍內(nèi)(即壓力超過 10-1毫巴 (0.75 x 10-1Torr))轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。
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羅茨真空泵系統(tǒng)是采用的羅茨真空泵配單級旋片真空泵和油封液環(huán)真空系統(tǒng)將真空系統(tǒng)的真空度提高,抽速提高。是廣泛用于要求大抽速的中真空范圍使用。
羅茨真空泵 典型應(yīng)用:
真空冶煉;
真空包裝;varian T250 PUMP分子泵維修
檢漏系統(tǒng);
空調(diào)制冷等行業(yè)真空脫氣,干燥用;
鍍膜系統(tǒng)上分子泵或擴散泵的前級泵 等等…
真空泵真空度減少:指當(dāng)下測到的旋內(nèi)置式真空泵真空度比原裝指標或者以前運用時的真空度低。導(dǎo)致真空度低的原因有很多,這里詳解幾種重要的情況。1.是由于真空泵油造成的真空度低的情況,就是真空泵油乳濁液褪色,或者很臟會。解決之道:放干凈整潔泵內(nèi)的所有真空泵油,拆卸同類型的真空泵油,并解決被抽汽體里水蒸氣和沉渣不進入泵內(nèi)。2.泵內(nèi)的油道阻塞或者不暢,泵腔內(nèi)沒有保持一定量的多余油。解決之道:檢查油道是否順暢,并加同類型的真空泵油。3.互相配合的空隙改大。它是長久性被真空包裝人體含有粉塵等,造成旋內(nèi)置式真空泵和電機轉(zhuǎn)子正中間磨爛后的空隙擴張。解決之道:檢查空隙是否過大,拆卸新的零部件。varian T250 PUMP分子泵維修
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當(dāng)終止分子泵,請先得出關(guān)機命令(STOP),待分子泵降速完畢,ROTATION顯示燈滅掉(液晶顯示器上顯示信息STOP,及轉(zhuǎn)速比顯示信息為0%),確定分子泵早已徹*終止,才能夠斷電。如必須拆裝線纜,在如上述情況一切正常關(guān)機并關(guān)閉開關(guān)電源后,才能夠拆下來線纜,分子泵在一切正常運行時肯定不可以拔下電纜線電源插頭。 真空渦輪分子泵維修
真空泵的工作原理是利用偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)形成通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的交化而將體排出泵外,主要是在吸氣過程中,吸氣腔體積增大,真空度降低,將容器內(nèi)氣體吸入泵腔,在排氣過程中體積變小,壓強增大, 終通過油封將吸入的氣體排出泵外。作用:真空泵的作用是產(chǎn)生負壓,從而增加制動力。 真空渦輪分子泵維修
通常而言,處理真空泵廢氣有3種方法,第*種就是碳吸附法,由于其特殊的性質(zhì),表面積大,吸附能力強,活性炭被廣泛應(yīng)用于過濾場景,過濾水、氣味等,經(jīng)過長時間的吸附后,吸附容積飽和,將停止吸附,失去過濾能力,因此用此方法需要頻繁更換。
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